主流校正體系分為三條技術(shù)路線(xiàn)。第一是經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法，通過(guò)CQ、DJ、RH、LP、PH五大數(shù)學(xué)模型，以大量標(biāo)準(zhǔn)樣品回歸出元素間的吸收-增強(qiáng)校正系數(shù)。其中CQ模式以濃度為基礎(chǔ)，適合增強(qiáng)效應(yīng)主導(dǎo)的試樣；DJ模式以吸收效應(yīng)為主，擬合更穩(wěn)??；RH模式兼顧兩者，適用面廣。該法精度高但依賴(lài)標(biāo)樣數(shù)量，移植性差。第二是基本參數(shù)法（FP法），由Criss等于1968年提出，以初級(jí)X射線(xiàn)光譜分布、質(zhì)量衰減系數(shù)、熒光產(chǎn)額、吸收陡變比等物理參數(shù)構(gòu)建理論方程，通過(guò)迭代逼近使理論強(qiáng)度與實(shí)測(cè)強(qiáng)度一致。優(yōu)勢(shì)在于無(wú)需大量標(biāo)樣，但對(duì)輕元素（Mg、Al、Si、P、S）的校正仍存局限。第三是內(nèi)標(biāo)法與散射標(biāo)準(zhǔn)法，以?xún)?nèi)標(biāo)線(xiàn)或散射X射線(xiàn)為參照，有效補(bǔ)償基體吸收與儀器漂移，但需嚴(yán)格匹配內(nèi)標(biāo)元素的激發(fā)-吸收特性。

　　當(dāng)前行業(yè)優(yōu)解是FP法與經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法的融合，疊加智能算法自動(dòng)補(bǔ)償。奧林巴斯Axon技術(shù)、日立自動(dòng)漂移校正算法均屬此類(lèi)，可在無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片條件下連續(xù)工作數(shù)十天，輕元素定量精度提升至±0.05%級(jí)別。配合SDD探測(cè)器（分辨率約145eV）的高分辨峰識(shí)別能力，有效分離重疊峰與干擾峰，最終實(shí)現(xiàn)Mg至U全譜段、ppm級(jí)檢出限的可靠定量。